氩气时目前应用较广的惰性气体。用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、冶炼、切割、焊接等。
氩气的性质非常稳定，既不能燃烧，也不助燃。氩气在工业和机械制造部门往往被作为焊接保护气，防止焊接件被空气氧化或氮化。在空气中含有的0.932%的氩气，沸点在氧气、氮气之间，在分离氧气、氮气的同时，将氩气分离出来进一步提纯，也可得到氩气。氩本身无毒，但在高浓度时有窒息作用。当空气中氩气浓度高于33%时就有窒息的危险。当氩气浓度超过50%时，出现严重症状，浓度达到75%以上时，能在数分钟内。液氩可以伤皮肤，眼部接触可引起炎症。
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